電容傳感器
電容傳感器從能量轉(zhuǎn)換的角度而言,電容變換器為無(wú)源變換器,需要將所測(cè)的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進(jìn)行放大和處理。力學(xué)量中的線位移、角位移、間隔、距離、厚度、拉伸、壓縮、膨脹、變形等無(wú)不與長(zhǎng)度有著密切聯(lián)系的量;這些量又都是通過(guò)長(zhǎng)度或者長(zhǎng)度比值進(jìn)行測(cè)量的量,而其測(cè)量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,在有些條件下,這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢,而且變化范圍極小,如果要求測(cè)量極小距離或位移時(shí)要有較高的分辨率,其他傳感器很難做到實(shí)現(xiàn)高分辨率要求,在精密測(cè)量中所普遍使用的差動(dòng)變壓器傳感器的分辨率僅達(dá)到1~5 μm數(shù)量級(jí);而有一種電容測(cè)微儀,他的分辨率為0.01 μm,比前者提高了兩個(gè)數(shù)量級(jí),最大量程為100±5 μm,因此他在精密小位移測(cè)量中受到青睞。

特點(diǎn)
電容傳感器有如下一些特點(diǎn):
①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;
②動(dòng)作時(shí)需要能量低,由于帶電極板間靜電吸引力很。s幾個(gè) N),因此電容傳感器特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的測(cè)量問(wèn)題;
③動(dòng)態(tài)特性好,電容傳感器的相對(duì)變化量只受線性和其它實(shí)際條件的限制,如果使用高線性電路時(shí),電容變化量可達(dá)100%或更大;
④自然效應(yīng);
⑤動(dòng)態(tài)響應(yīng)快以及能在惡劣的環(huán)境下工作。但由于電容傳感器的初始電容較小,受引線電容、寄生電容的干擾影響較大;另一方面電容傳感器輸出特性為非線性。
①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單;
②動(dòng)作時(shí)需要能量低,由于帶電極板間靜電吸引力很。s幾個(gè) N),因此電容傳感器特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的測(cè)量問(wèn)題;
③動(dòng)態(tài)特性好,電容傳感器的相對(duì)變化量只受線性和其它實(shí)際條件的限制,如果使用高線性電路時(shí),電容變化量可達(dá)100%或更大;
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應(yīng)用
電容傳感器可以直接測(cè)量的非電量為:直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸(或稱物位),直線位移及角位移可以是靜態(tài)的,也可以是動(dòng)態(tài)的,例如是直線振動(dòng)及角振動(dòng)。用于上述三類非電參數(shù)變換測(cè)量的變換器一般說(shuō)來(lái)原理比較簡(jiǎn)單,無(wú)需再作任何預(yù)變換。
用來(lái)測(cè)量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時(shí)常將被測(cè)物作為傳感器的一個(gè)極板,而另一個(gè)電極板在傳感器內(nèi)。近年來(lái)已采用這種方法測(cè)量油膜等物質(zhì)的厚度。這類傳感器的動(dòng)態(tài)范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達(dá)到0.1μm,分辨力為0.025μm?梢詫(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,它加給被測(cè)對(duì)象的力極小,可忽略不計(jì)。
測(cè)物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測(cè)量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當(dāng)電容傳感器用于測(cè)量其他物理量時(shí),必須進(jìn)行預(yù)變換,將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成d,S或ε的變化。例如在測(cè)量壓力時(shí),要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化。
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測(cè)物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測(cè)量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當(dāng)電容傳感器用于測(cè)量其他物理量時(shí),必須進(jìn)行預(yù)變換,將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成d,S或ε的變化。例如在測(cè)量壓力時(shí),要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化。
改善方法
為了提高電容傳感器的靈敏度、減小界干擾、寄生電容及漏電的影響和減小線性誤差,可采用以下措施:
①由于當(dāng)d減小時(shí)可使電容量加大從而使靈敏度增加,但d過(guò)小容易引起電容器擊穿,一般可以在極板間放置云母片來(lái)改善;
②提高電源頻率;
③用雙層屏蔽線,將電路同電容傳感器裝在一個(gè)殼體中,可以減小寄生電容及外界干擾的影響。
①由于當(dāng)d減小時(shí)可使電容量加大從而使靈敏度增加,但d過(guò)小容易引起電容器擊穿,一般可以在極板間放置云母片來(lái)改善;
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rechner電容式傳感器
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